Yapı 1564-1572 yılında Diyarbakır’ın 13. Osmanlı Valisi Behram Paşa tarafından yaptırılmıştır. Yapı, Mimar Sinan’ın eserlerinin derlendiği Tuhfetül Mi’marin kitabında Mimar Sinan eseri olarak geçmektedir. Tamamen kesme taştan yapılmış, tek kubbeli bir yapı olan cami ilk bakışta tek kubbeli basit bir yapı olarak görünmekteyse de iç ve dış süslemesiyle Diyarbakır’ın taş işçiliği yönünden zengin yapıları içinde başlı başına bir yer tutar.
Caminin içindeki duvarlar alttan belli bir yüksekliğe kadar karakteristik XVI. Yüzyıl İznik çinileriyle süslenmektedir. Caminin diğer bir özelliği de kuzeyinde çift kademeli yanlardan taşan beş sahınlı bir son cemaat yerinin olmasıdır. Son cemaat yeri yanlara doğru taşmış olup, sağdaki kısmın üzerine de minare yerleştirilmiştir. Caminin giriş kapısı mukarnaslı bir bordür ile çevrilmiş, üzerine de bir kitabe yerleştirilmiştir.